绿色的启动键按下。
整个车间的指示灯瞬间由红变绿。
发出低沉而磅礴的机械蜂鸣声。
这声音不是从空气里传来的。
而是顺着防静电地板,直接钻进在场每一个人的脚底板。
顺着骨头,一路麻到后脑勺。
占地半个篮球场大小的光刻机主机。
像一头苏醒的钢铁巨兽。
内部的几百个高压水冷泵同时开始运转,发出哗啦啦的水流声。
空气里瞬间弥漫开一股浓烈的臭氧气味。
宋运辉站在主控台前。
他双手死死捏着操作台的不锈钢边缘。
指甲抠着金属缝隙,用力过猛,指尖已经没有了一丝血色。
他屏住了呼吸。
连换气都不敢。
生怕自己喘气的声音大一点,就会惊扰了玻璃罩里那道比头发丝还要细几万倍的极紫外光束。
防爆玻璃窗内。
幽蓝色的激光束在一组组复杂的蔡司反射镜片中穿梭。
每一次折射,都精准到了纳米级别的极限。
“双工台切入同步。”
旁边的一个年轻操作员盯着屏幕,声音发颤。
他拿手背胡乱抹了一把额头上的汗。
汗水滴在键盘的缝隙里,他连看都没看一眼。
机器内部传来一阵极其轻微的“咔哒”声。
那是重达两吨的工件台,在磁悬浮导轨上以每秒几米的速度飞驰。
定位精度。
苛刻到了零点几纳米。
这是人类工业皇冠上最璀璨的那颗明珠。
在此之前,这颗明珠被西方的阿斯麦和几大财阀死死捂在怀里。
连个碎屑都不让华国人看一眼。
陈致远站在宋运辉身后。
他没穿防尘服,只是套了件灰色的静电大褂。
双手插在兜里。
神色平静地看着屏幕上跳动的数据瀑布。
绿色的代码疯狂刷屏。
“曝光结束。”
操作员敲下回车键。
键盘发出一声脆响。
机器内部的蜂鸣声开始减弱。
激光源关闭。
红色的真空密封舱门,在一阵气流泄压的“哧哧”声中。
缓缓向上滑开。
机械臂托着那个黑色的载物盘。
平稳地送了出来。
十二英寸的硅晶圆,静静地躺在托盘里。
在冷白色的车间顶灯下。
表面泛起一圈圈梦幻般的七彩光晕。
宋运辉没有去拿那块硅片。
他死死盯着主控台正中央的那块大屏幕。
上面,是激光干涉仪同步传回的最终检测数据。
屏幕上的光标转了两圈。
停住了。
跳出两行加粗的绿色汉字。
【套刻精度:0.12纳米】
【良品率:99.8%】
宋运辉张开嘴。
喉咙里像是塞了一把干草。
他干咽了两下,发不出一丁点声音。
只有沉重的“呼哧”喘息声。
他慢慢摘下脸上的防毒面罩。
随手一丢。
面罩砸在地板上,塑料外壳磕出一声闷响。
他转过身。
看着站在身后的陈致远。
眼眶一点点地红了,血丝瞬间爬满了眼白。
两滴浑浊的眼泪,毫无征兆地从眼角滚落下来。
砸在白色的防静电服上。
“老板……”
宋运辉开口,嗓音嘶哑得变了调。
带着浓浓的哭腔。
“成了。”
这两个字一出来。